濱松微光顯微鏡（EMMI，又稱(chēng)PEM，Photon Emission Microscope，光發(fā)射顯微鏡）的原理主要基于半導(dǎo)體器件在失效或缺陷狀態(tài)下會(huì)發(fā)出微量光子的現(xiàn)象。以下是對(duì)其原理的詳細(xì)解釋?zhuān)?/span>
濱松微光顯微鏡不僅具有故障點(diǎn)定位、尋找亮點(diǎn)和熱點(diǎn)的功能，還廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
此外，濱松微光顯微鏡還可以與光束誘導(dǎo)電阻變化（OBIRCH）功能集成在一個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)中。OBIRCH技術(shù)利用激光束在恒定電壓下的器件表面進(jìn)行掃描，通過(guò)檢測(cè)金屬互聯(lián)線(xiàn)缺陷處溫度累計(jì)升高引起的電阻和電流變化，來(lái)定位缺陷位置。這種技術(shù)具有迅速、通用、潔凈、簡(jiǎn)單和靈敏等優(yōu)點(diǎn)，能夠快速準(zhǔn)確地定位IC中元件的短路、布線(xiàn)和通孔互聯(lián)中的空洞等缺陷。
綜上所述，濱松微光顯微鏡的原理是基于半導(dǎo)體器件在失效或缺陷狀態(tài)下發(fā)出的微量光子進(jìn)行偵測(cè)和定位。其應(yīng)用范圍廣泛，是半導(dǎo)體故障失效分析中的重要工具。
